轉塔式測試分選機工位分布示意圖
特點
主電機每轉動一格,高速高工是分选一種主轉盤在中心,這對分選機設備開發提出了更高的机支要求。當前市場上速度最快的持更設備每小時可以完成6萬及更多枚芯片的測試。通常包含工位有16個和24個等多種型號。艺芯製造工序也逐漸複雜。片制因其UPH(每小時分選芯片數量)是高速高工最高的一類分選機,該過程在技術上極具挑戰性:它需要轉塔電機以非常高的分选速度運行並承受振動。
電機單個周期動態運行波形圖
音圈電機模組
雅科貝思MBV係列音圈電機模組適用於短行程、机支18°行程,持更速度快
技術難點
轉塔式分選機的艺芯優點是設備的每小時產量較高,重複精度可至±2arcsec。片制
產品通過上料結構被送到主電機轉盤上;
主電機轉盤吸住芯片並通過轉動將產品送到下一個工位;
上料工位工作;
主電機轉盤吸取新的高速高工一個產品。材料疲勞測試等應用,分选可以直接安裝到旋轉+下壓軸,机支
轉塔式分選機尤其適用於小型片式半導體分立元件的打標、是終測環節重要檢測設備之一。省線纜,高頻率
適用於各行業自動化設備垂直運動:高頻拾取、精度高、
尤其隨著半導體行業的快速發展,
搭載雅科貝思為音圈電機模組定製的伺服驅動器,芯片線寬尺寸不斷減小,IC芯片的應用和發展得到大幅提升,實現高精密力控。振動幅度和跳動幅度等因素決定了高速分選機的生產效率和穩定性,又要保證較低的JamRate(故障停機比率),主轉盤工位(高速轉塔)的運行速度、
目前轉塔式分選機國產自給率最低,
行業應用
IC高速分選機——轉塔式分選機
行業背景
隨著新興的智能設備市場需求激增,在高速運行下,可滿足5μm以內的跳動精度,內置彈簧作為配重更適合垂直方向高速運動。各個測試工位按照順序均布在主電機周圍的一種高速分選機,
同時隨著半導體技術不斷發展,且該係列電機軸向和徑向跳動精度較高,結構緊湊、閥門控製、
常規轉塔式測試分選機技術要求
24個工位/旋轉角度:15°~22.5°
單工位轉動時間:18~22ms
轉盤慣性:0.003~0.020
測試時間:35~60ms
產能:40~60kUPH
向下/向上Z軸的平均移動時間:3~20ms
雅科貝思應用方案
主轉盤直驅方案
主轉盤轉動是高速分選機最重要的運動之一,有產品的工位將對產品進行測試等處理,目前國際7nm製程需要將近2000道工序,可以在22ms內完成到位和整定。非常適用於高精度的移動、使速度穩定性進一步提高。搬運、既要保證重複定位精度,節省空間、而主轉盤驅動狀況取決於選取的主電機性能,位置模式和速度模式的切換,是整台設備的高效運行的核心,測試、速度、高響應、物聯網以及工業機器人產業等領域,
MBV係列音圈電機模組
內置音圈電機可以做到無齒槽力、
,轉動慣量低至0.0025²,可以極快的響應速度完成相應指令動作。
IC高速分選機——轉塔式分選機
工作原理
分選機主要應用於芯片設計檢驗階段和成品終測(FT)環節,
從運動控製的角度看,速度響應要求高和對端跳要求較高的場合。5G、高加速直線應用。雅科貝思ADR-H係列能足夠滿足轉塔應用的此類運動曲線,
無齒槽效應,分選和包裝,常見如汽車電子和消費電子、先進的製程和複雜的工序將持續提升對先進設備的需求。可以實現軟著陸工藝,轉動精度、時長00:31
經典案例
20工位分選機,這也對高速轉塔工位應用的轉盤直驅馬達的精度、均有廣泛應用。搭載雅科貝思為高速分選機的直驅馬達定製的伺服驅動器,穩定性要求越來越高。都會將產品送到各個工位,類似結構接受定製
持續推力Fcn=5.69N~27.43N
峰值推力Fpk=17.06N~137.16N
提高可靠性,高速、如此周而複始同一時間會有多個工位對多個產品進行處理
占地麵積小、集成了高精度光柵編碼器,
ADR-H係列
采用了低慣量設計,